Quá trình oxy hóa khô và ướt - Dry & Wet oxydation

Quá trình oxy hóa sử dụng nguồn oxy từ hơi nước (Oxy hóa ướt - Wet oxydation) hay từ khí oxy (Oxy hóa khô - Dry oxydation) để tạo ra lớp silicon dioxide (SiO2) trên bề mặt tấm wafer trong lò nung. Các lớp SiO2 có thể đóng vai trò như một lớp bảo vệ cả tấm Silic trong quá trình chế tạo, hoặc có vai trò như là một lớp cách điện trong linh kiện.

Video dưới đây cho thấy sự khác nhau giữa 2 quá trình.