Phòng sạch - Cleanroom

Nói đến quá trình nghiên cứu hay sản xuất các linh kiện bán dẫn, đầu tiên phải nhắc đến phòng sạch. Vậy phòng sạch là gì, và tại sao các quá trình công nghệ bán dẫn cần phải được thực hiện trong phòng sạch?

Phòng sạch được sử dụng trong thực tế mỗi ngành công nghiệp mà các hạt nhỏ có thể ảnh hưởng xấu đến quá trình sản xuất như  trong các ngành công nghiệp như sản xuất chất bán dẫn, dược phẩm, công nghệ sinh học, thiết bị y tế và khoa học đời sống, cũng như quá trình quan trọng sản xuất phổ biến trong ngành hàng không, quang học, quân sự và Bộ Năng lượng..

Phòng sạch là nơi môi trường được kiểm soát chặt chẽ từ nhiệt độ, độ ẩm, áp suất đến nồng độ các chất ô nhiễm như bụi, vi khuẩn, các hạt khí dung và hơi hóa chất trong không khí. Mức độ ô nhiễm của phòng sạch được xác định bởi số lượng hạt (tại một kích thước hạt quy định) trên một mét khối không khí. Người ta sử dụng bộ lọc HEPA (High Efficiency Particulate Air) để bẫy các hạt có kích thước từ 0.3micron. Trong trường hợp yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch cần thiết, người ta sử dụng bộ lọc tinh ULPA (Ultra Low Particulate Air).

 Chính vì những yêu cầu nghiêm ngặt về mức độ kiểm soát ô nhiễm như vậy, người làm việc trong phòng sạch cần được trang bị loại quần áo đặc biệt để ngăn sự phát tán ô nhiễm tạo ra bởi làn da và cơ thể. Đồng thời, người làm việc phải đi qua airlock, airshower và đến phòng mặc áo choàng trước khi vào phòng sạch.

Phân loại phòng sạch theo thiêu chuẩn ISO