Công nghệ hệ vi cơ điện tử (MEMS - Micro electro-mechanical systems) và hệ nano cơ điện tử (NEMS - Nano electro-mechanical systems) xuất phát điểm từ công nghệ cơ điện tử được hình thành vào năm 1969 đã góp phần tạo ra cuộc cách mạng thứ hai về khoa học công nghệ và sản xuất công nghệ.
Các công nghệ MEMS và NEMS có ứng dụng rộng rãi trong mọi lĩnh vực. Ban đầu, các linh kiện MEMS/NEMS chủ yếu được ứng dụng trong các lĩnh vực vật lý như Cơ học (cảm biến áp suất, cảm biến gia tốc và con quay vi cơ), Vi lưu (đầu máy in phun), Âm học (microphone), trong cao tần (bộ chuyển mạch và cộng hưởng) và MEMS/NEMS trong quang học (Vi gương). Sau này, công nghệ MEMS/NEMS đã cung cấp những giải pháp trong việc tạo ra những sản phẩm mang tính sáng tạo trong các lĩnh vực như hóa học, sinh học và y tế. Cảm biến MEMS/NEMSđã có mặt trong các ngành điện tử tiêu dùng, điện tử gia dụng, công nghiệp ô-tô và hàng không vũ trụ, công nghiệp y sinh, giải trí và thể thao.
 |
| Các ứng dụng của cảm biến MEMS |
Không có nhận xét nào:
Đăng nhận xét